医用MEMS是最新的范畴，美国食物及药物管理局(FDA)已同意十几种根据MEMS的健康监控设备，比方Preventice公司的BodyGuardian长途监控体系，它把一个胶带直接贴在人体上，然后随时把心电图、心率、呼吸率和活动水平经过无线方法发送给医疗人员，然后协助老年人安享晚年，患者更早地安全脱离医院，然后减轻医院人满为患的问题。
包含Debiotech公司(瑞士洛桑)与意法半导体合作开发的胰岛素打针泵，能够自意向监控糖尿病患者并开释胰岛素;CardioMEMS(美国)正在开发的可植入血压监测计。
Replenish公司的可植入微流体泵能够安顿在眼内，能够在需求时精确地释出几纳升的药物，能够继续作业九个月才要从头装药。
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